Наверх

Вы не зарегистрированы. Поэтому авторизуйтесь или укажите E-mail адрес, на который хотите получить уведомление о поступлении товара в продажу.

Внимание! Уведомление о поступлении товара будет отправлено Вам один раз.

Металлизация ультрабольших интегральных схем
Отложить на потом

Металлизация ультрабольших интегральных схем

Авторы: Александр Дмитриевич Сулимин, Алексей Иванович Мочалов, Василий Иванович Шевяков, Дмитрий Геннадьевич Громов

Цена: 301q

Дата передачи в службу доставки:
6-го марта

Издательство: Бином. Лаборатория знаний (2009 г.)

Твердый переплет, 277 стр.

ISBN: 978-5-94774-904-5

Тираж: 1000 экз.

Размер: 60x90/16 (в пер.)

Вес: 377 гр.

Поискать похожие книги
Другие издания этой книги

Внимание!
Сроки комплектации временно увеличены!
Краткое описание

Металлизация ультрабольших интегральных схем.

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.

Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

Внешний вид товара Металлизация ультрабольших интегральных схем может отличаться от изображения товара на сайте!

Лидеры продаж
Отзывы (Ваш отзыв будет первым)

Ваше мнение очень интересно, но чтобы оставить свой отзыв, пожалуйста, зарегистрируйтесь